Đầu dò bán dẫn là đầu dò sử dụng khối chất bán dẫn (thường là silic hoặc gecmani) để phát hiện bức xạ ion hóa như các hạt tích điện hay photon xâm nhập vào khối dò, và chuyển nó thành tín hiệu điện tử để có thể xử lý bằng mạch điện tử tương ứng [1].Đầu dò bán dẫn được ứng dụng rộng rãi trong các máy dò và máy đo lường cường độ bức xạ hạt tích điện, tia X, tia gamma,... trong các nghiên cứu khoa học và trong an toàn bức xạ.