Trong toán học, túc thừa còn gọi là siêu luỹ thừa hoặc vi thừa bậc 4 trong hệ vi thừa (tiếng Anh: tetration hoặc hyper-4) là một phép toán dựa trên phép lặp hoặc sự lặp lại của luỹ thừa. Đây là bậc vi thừa tiếp theo sau luỹ thừa, nhưng trước thụ thừa. Từ này được đặt ra bởi Reuben Louis Goodstein từ chữ tetra- (nghĩa là bốn) và iteration (nghĩa là phép lặp).Theo định nghĩa như lũy thừa lặp đi lặp lại, ký hiệu n a {\displaystyle {^{n}a}} có nghĩa là a a ⋅ ⋅ a {\displaystyle {a^{a^{\cdot ^{\cdot ^{a}}}}}} , trong đó, n là số lần của a được lặp lại thông qua phép luỹ thừa, từ phải sang trái. Tức là, nếu ứng dụng trên tầng thứ hai của luỹ thừa thì số lần lặp còn n − 1 {\displaystyle n-1} lần. n được gọi là "tham số chiều cao" hay "số triện" của hàm, trong khi, a được gọi là "cơ số", tương tự như luỹ thừa. Nó sẽ được đọc là "túc thừa bậc n của a" hay "a triện n".Túc thừa cũng được định nghĩa đệ quy như n a := { 1 nếu  n = 0 a ( ( n − 1 ) a ) nếu  n > 0 {\displaystyle {^{n}a}:={\begin{cases}1&{\text{nếu }}n=0\\a^{\left(^{(n-1)}a\right)}&{\text{nếu }}n>0\end{cases}}} cho phép các sự nỗ lực mở rộng ra ngoài số tự nhiên chẳng hạn như số thực hoặc số phức.Hai phép toán nghịch đảo của phép túc thừa được gọi là siêu căn (túc căn) và siêu logarit (siêu đối thừa, túc đối thừa), tương tự như căn bậc n và hàm logarit. Không có hàm nào trong ba hàm này là hàm số sơ cấp.Túc thừa được sử dụng cho ký hiệu số lớn.