Kính_hiển_vi_quang_học_quét_trường_gần
Kính_hiển_vi_quang_học_quét_trường_gần

Kính_hiển_vi_quang_học_quét_trường_gần

Kính hiển vi quang học quét trường gần (near-field scanning optical microscope, viết tắt là NSOM hoặc SNOM) là một kỹ thuật soi kính hiển vi cho phép nghiên cứu các cấu trúc nano với độ phân giải vượt qua giới hạn phân giải (giới hạn nhiễu xạ; diffraction-limited system) bằng cách ứng dụng các tính chất của sóng suy biến (evanescent wave). Kỹ thuật này được thực hiện bằng cách đặt đầu dò rất gần với mẫu (khoảng cách giữa đầu dò và mẫu nhỏ hơn nhiều lần so với bước sóng λ). Nó cho phép quan sát bề mặt mẫu với các độ phân giải hình ảnh cao (độ phân giải không gian, độ phân giải thời gianđộ phân giải bức xạ). Với kỹ thuật này, độ phân giải của hình ảnh bị giới hạn bởi kích thước của lỗ dò chứ không phụ thuộc vào bước sóng của tia sáng đầu dò. Đặc biệt có thể đạt được độ phân giải ngang 20nm và độ phân giải đứng từ 2-5 nm.[2][3]