CMOS, viết tắt của "
Complementary Metal-Oxide-Semiconductor" trong
tiếng Anh, là thuật ngữ chỉ một loại công nghệ dùng để chế tạo
mạch tích hợp. Công nghệ CMOS được dùng để chế tạo
vi xử lý,
vi điều khiển,
RAM tĩnh và các
cổng logic khác. Công nghệ CMOS cũng được dùng rất nhiều trong các mạch tương tự như
cảm biến ảnh,
chuyển đổi kiểu dữ liệu, và các vi mạch
thu phát có mật độ tích hợp cao trong lĩnh vực thông tin.Trong tên gọi của vi mạch này, thuật ngữ
tiếng Anh "complementary" ("bù"), ám chỉ việc thiết kế các
hàm lôgíc trong các vi mạch CMOS sử dụng cả hai loại
transistor PMOS và
NMOS và tại mỗi thời điểm chỉ có một loại transistor nằm ở trạng thái đóng (ON).Hai đặc tính cơ bản của các linh kiện được chế tạo bằng công nghệ CMOS là có độ
miễn nhiễu cao và tiêu thụ
năng lượng ở trạng thái tĩnh rất thấp. Các vi mạch CMOS chỉ tiêu thụ năng lượng một cách đáng kể khi các
transistor bên trong nó chuyển đổi giữa các trạng thái đóng (ON) và mở (OFF). Kết quả là các
thiết bị CMOS ít tiêu thụ
năng lượng và tạo ra ít
nhiệt hơn so với các loại
cổng logic khác như mạch
transistor-transistor logic (TTL) hay mạch logic NMOS (khác với CMOS, NMOS chỉ dùng toàn bộ transistor hiệu ứng trường kiểu n và không dùng transistor hiệu ứng trường kiểu p). CMOS cũng cho phép tích hợp các
hàm lôgíc với mật độ cao trên
chíp.Cụm từ "metal-oxide-semiconductor" bắt nguồn từ một
quy trình chế tạo các vi mạch tích hợp CMOS trước đây. Quy trình này tạo ra các
transistor hiệu ứng trường mà mỗi transistor có một điện cực cổng bằng kim loại được đặt lên trên một lớp cách điện bằng oxide phủ trên
vật liệu bán dẫn. Ngày nay, thay vì dùng kim loại, người ta tạo ra điện cực cổng bằng một vật liệu khác, đó là
polysilicon. Tuy nhiên, IBM và Intel đã công bố sẽ sử dụng trở lại cổng kim loại trong công nghệ CMOS nhằm tận dụng tính chất tiên tiến của vật liệu có hằng số điện môi cao trong việc chế tạo các vi mạch có kích thước 45 nanomét hay nhỏ hơn. Dù có nhiều thay đổi, tên gọi CMOS vẫn tiếp tục được sử dụng trong các quy trình chế tạo hiện đại
[1].Một vi mạch tích hợp nhỏ chứa một lượng lớn các tranzito CMOS đôi khi được gọi là
vi mạch tích hợp CHMOS. Thuật ngữ
CHMOS viết tắt của "Complementary High-density metal-oxide-semiconductor" trong
tiếng Anh.Đôi khi, mạch kết hợp giữa các
cảm biến MEMS với
bộ xử lý tín hiệu số được sản xuất trên một vi mạch tích hợp CMOS đơn được gọi là
CMOSens