Động cơ piezo gồm hai phần stator và rotor, được ép dính vào nhau. Stator là một đĩa hoặc thanh kim loại có dán các miếng Piezo, còn rotor chỉ là một đĩa hoặc thanh kim loại (tùy loại động cơ thẳng hay tròn).Năng lượng điện làm biến đổi hình dạng của các mẩu piezo tạo thành sóng cơ học trên stator, sóng này sẽ đẩy rotor chuyển động xoay tròn hay thẳng.