Wolfram_hexaflorua

F[W](F)(F)(F)(F)FWolfram(VI) fluoride, còn được gọi là wolfram hexafluoride, là hợp chất vô cơ của wolfram và flo với công thức hóa học là WF6. Đây là hợp chất không màu, gây ăn mòn, độc hại. Trong điều kiện tiêu chuẩn, khối lượng riêng vào khoảng 13 g/L (nặng gấp khoảng 11 lần so với không khí[1][2][3]), do vậy WF6 là một trong những loại khí nặng nhất.[4] Khí WF6 thường được sử dụng trong sản xuất mạch bán dẫn và bảng mạch thông qua quá trình lắng đọng hóa học - khi phân hủy, các phân tử của WF6 tạo ra wolfram kim loại. Lớp này là "lớp tương kết" có điện trở thấp.[5]

Wolfram_hexaflorua

Số CAS 7783-82-6
InChI
đầy đủ
  • 1S/6FH.W/h6*1H;/q;;;;;;+6/p-6
SMILES
đầy đủ

  • F[W](F)(F)(F)(F)F
Điểm sôi 17,1 °C (290,2 K; 62,8 °F)
Khối lượng mol 297.830 g/mol
Công thức phân tử WF6
Danh pháp IUPAC Tungsten hexafluoride
Tungsten(VI) fluoride
Khối lượng riêng 12,4 g/L (khí)
4.56 g/cm³ (−9 °C, rắn)
Điểm nóng chảy 2,3 °C (275,4 K; 36,1 °F)
Ảnh Jmol-3D ảnh
MagSus −40,0·10−6 cm³/mol
PubChem 522684
Độ hòa tan trong nước Thủy phân
Bề ngoài Khí không màu